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半導體需要水! 台積電.英特爾沙漠建廠各出招

2024-03-20 19:25:00 / 徐郁潔 邱榮慶 報導 /
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半導體製程需要大量用水,但晶圓代工龍頭台積電,先前選擇位在沙漠的亞利桑那州設廠,因應缺水挑戰,台積電建造了一套廢水處理以及水資源回收系統,提升水資源使用效率。另外,美國半導體大廠英特爾,同樣在亞利桑那州設廠,也不斷提升廢水處理技術,降低用水量,解決晶圓廠用水問題。

晶圓代工龍頭台積電,前年設廠美國亞利桑那州鳳凰城,要量產4奈米製程,但面臨當地缺水挑戰,台積電也早就想好對策。半導體專家柴煥欣說:「台積電除了使用的是工業廢水,經過過濾循環再利用,增加循環的次數來充分地使用水資源。」

鳳凰城的供水,近6成來自鹽河和佛得角河,4成來自科羅拉多河,還有地下水能使用,台積電更依照排放水潔淨程度分級,最純淨的水再利用於生產製程,透過回收處理取得的次級用水,則用在無塵室空氣洗滌,或冷卻水塔等用途。

英特爾官方影片說:「占地4.8公頃的廢水處理廠,每天將處理910萬加侖的廢水。」不只台積電美國半導體大廠英特爾,也在當地設置晶圓廠,英特爾在晶圓廠中製造的廢水,都會先送到廢水處理廠,消除廢水中的鹽水,其中一個占地約4.8公頃的廢水處理廠,會將處理後的廢水約20%送回英特爾廠區內再利用,80%送給市府做為民間灌溉用途,更預計2030年能達到100%水資源循環利用。

半導體專家柴煥欣說:「未來如果發生氣候變異這種狀況,而發生非常嚴重的旱災的話,恐怕才是水資源運用的重大挑戰。」晶圓廠不僅僅是吃電怪獸,更是用水怪獸,也讓晶圓大廠如何善用水資源,成了一大課題。

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