（中央社記者劉千綾台北9日電）半導體設備大廠艾司摩爾在台砸重金投資，並針對2奈米晶圓光學量測設備研發製造，向經濟部申請A+企業研發補助案。經濟部表示，將以兩面向審查，包括如何協助供應鏈技術升級以及國產自製率，最快5月拍板定案。

艾司摩爾（ASML）去年宣布在台灣擴大投資，新北市長侯友宜透露，預計落腳林口，第一期投資金額達新台幣300億元，約2000名員工進駐。

不僅在台灣擴大投資，艾司摩爾去年也向經濟部遞件申請，針對2奈米晶圓光學量測設備提出研發補助計畫，經濟部已受理審查，依規定一旦審查通過，政府補助比例會低於5成。

經濟部官員表示，審查重點為如何提升本土技術、國產自製率；目前台廠供應鏈已具備深紫外光（DUV）設備中的光罩傳輸模組製造能力，這次艾司摩爾計劃案包含晶圓傳輸模組，期盼藉此導入本土供應鏈。

經濟部官員指出，事實上，先前艾司摩爾的光罩傳輸模組搬來台灣製造，讓台灣成為艾司摩爾DUV光罩傳輸模組全球唯一製造基地，帶動台廠帆宣、公準和神詠等供應鏈廠商成長，藉由外商在台擴大投資、研發等，持續提升本土供應鏈技術升級。

艾司摩爾申請案將進入實質審查的第二階段，經濟部官員表示，預估5月召開決審會議拍板通過，屆時經濟部補助額將明朗化。

經濟部「A+企業創新研發淬鍊計畫」補助企業投入創新研發和前瞻產業技術開發，每年預算約新台幣20億元，計畫吸引國際大廠來台研發生產，同時幫助國內業者打進前段設備的供應鏈。（編輯：林淑媛）1120409