（中央社記者張建中台中15日電）台積電今天在中科晶圓15A廠舉辦中科場次的台積設備博覽會，並首度開放媒體採訪，現場展示超過70件台積電設備工程師的創新作品。

台積電設備博覽會今年進入第11屆，11月分別在竹科、中科及南科廠區舉辦，竹科場次已於11月8日至10日舉行，中科場次為11月15日至17日，南科場次預計於11月23日至24日舉行。

台積電廠務副總經理莊子壽表示，培養專家要給他們舞台與創新的機會，舉辦設備博覽會就是為所有設備人員提供一個展現自我創新能力的分享平台，透過實際的成果展出，促進相互觀摩學習，期能舉一反三激盪出更多的創新改善並予以實現。

設備博覽會期間也邀請國內相關科系大學學生及教授參觀，以進一步了解台積電設備工程師的自主創新技術及工作內涵與價值。

台積電設備博覽會分為系統整合、設備改造、好用工具及環保節能減碳4大主題，並規劃新知館，邀請設備商於現場展示創新產品，讓工程師同時能看到業界最新技術應用。

台積電工程師透過機器手臂、氣密籠車及晶片車，減少75%的手動搬運，節省人力，並確保晶片品質，同時可省下包裝袋，達到綠色環保的效益，估計一年可產生新台幣1.6億元的效益。

隨著廠區擴充，台積電每年增加超過4000台高空式無人搬運車（OHT），預期今年底可望超過2.2萬台。台積電工程師開發自動健檢站，讓OHT檢查頻率從年保變成週檢，可在不增加人力的情況下，讓系統更穩定。

台積電還開發出蝕刻設備電漿全自動清潔及人工智慧影像辨識機器人，未來將取代送洗，有助節省成本，估計每年效益可達4億元。

台積電指出，自第1屆設備博覽會開始，歷年累計參賽作品超過1600件，參觀人數逾2.7萬人。（編輯：張良知）1111115