半導體產業是台灣重要經濟命脈，然而半導體製程中所使用的全氟碳化物（PFCs）卻是造成地球溫室效應的嚴重因子，面對京都議定書明起生效，相關氣體應用排放將受管制，新竹科學園區內半導體廠商早在2000年前後便陸續自發性展開配套措施。