（中央社記者潘智義台北17日電）台積電供應鏈、半導體製程所需特殊化學氣體供應商台特化今天公告，去年歸屬母公司淨利新台幣3.85億元，每股稅後盈餘2.74元。

台特化今天除公告去年獲利數字，董事會並通過盈餘分配現金股利每股2元。

台特化先前表示，除半導體製程用特殊化學氣體，從矽甲烷擴充至價格更高的矽乙烷、矽丙烷之外，2024年開發用於乾式蝕刻製程的無水氟化氫，2025年第1季可望貢獻營收。

台特化說明，無水氟化氫原是美、日廠壟斷的產品，在日韓貿易戰期間，日本禁止無水氟化氫銷韓；台特化與氫氟酸大廠僑力化工做好水平分工、垂直整合，一起供貨給半導體大廠。（編輯：張均懋）1140217