（中央社記者劉千綾台北1日電）半導體設備大廠艾司摩爾（ASML）擴大在台投資，經濟部核定通過艾司摩爾2奈米晶圓光學量測設備研發製造計畫，總經費為新台幣9.5億元。經濟部指出，ASML在台推進2奈米設備是全球首創，同時可提升本土供應鏈量能。

經濟部表示，核定通過艾司摩爾「下世代晶圓量測設備研發夥伴計畫」，計畫總經費為9.5億元，其中，經濟部補助2.85億元，占總經費30%，計畫執行期間為2年。

「下世代晶圓量測設備研發夥伴計畫」聚焦2奈米晶圓光學量測設備研發製造，經濟部官員表示，艾司摩爾選擇在台研發全球唯一的2奈米量測設備，2奈米設備未來將進駐艾司摩爾的林口新廠生產，相關的晶圓精密定位平台等核心技術也會在台灣落地。

經濟部官員表示，希望艾司摩爾投資能帶動台灣供應鏈，雙方磋商期間，經濟部在推薦合作廠商時花費較多時間討論，最終艾司摩爾同意將自給率提高至35%、增加6家台灣供應商，以及在台採購金額拉高至每年72億元。

經濟部官員表示，艾司摩爾選擇加大力道投資台灣，主因為台灣有供應鏈系統支持，並且接近半導體客戶和供應商，透過技術合作可提升本土供應鏈量能。（編輯：楊凱翔）1120601