規模7地震衝擊半導體晶圓廠 石英爐管損耗成復工關鍵
(中央社記者吳家豪台北28日電)宜蘭外海27日深夜發生規模7.0地震,業者分析,對半導體產業影響僅次於921大地震及去年0403地震,儘管多數機台能快速復歸,但石英爐管的破損程度與備料匹配度,將成為產線能否全面復原的關鍵。
石英爐管是半導體製造過程中,位於擴散製程機台核心的圓柱形容器,能提供相對純淨的空間,確保矽晶圓在加工過程中不被金屬離子污染。由於石英「硬而脆」的特性,地震時的劇烈晃動容易導致爐管與機台框架發生碰撞而破碎。
提供邏輯與記憶體晶圓代工服務的力積電今天對中央社記者表示,竹科與竹南的8吋、12吋廠產線均受地震影響,主要為石英相關設備與材料,相關損害仍在評估與盤點,受損細節尚未完全明朗。目前影響範圍涵蓋產線設備與關鍵材料,待盤點結果出爐後,才能更精準量化對財務與產能的衝擊。
力積電指出,此次地震的嚴重程度僅次於1999年921大地震和去年0403地震、排在第3。從過往經驗看,規模較小的地震後約2至3天,產線可恢復正常運作,但此次需視石英爐管備料與實際損壞狀況而定。
力積電表示,石英爐管屬關鍵流程環節,修復與更換所需時間較長,其他機台將盡快復歸,但整體復原時程取決於石英爐管材料供應與安裝恢復。雖然去年0403地震後已增加石英材料庫存,仍需評估可用性與匹配度,若有破碎需更換,將延長裝機與校準的時間,進而影響後續晶圓交期。
記憶體廠南亞科表示,內部仍在針對地震災損進行完整詳細的確認,還需要多一些時間,預計29日上班會統一說明。
根據中央氣象署地震報告,27日晚間11時5分發生芮氏規模7.0地震,地震深度72.8公里,震央位於宜蘭縣政府東方32.3公里(位於台灣東部海域),全台多地最大震度4級。(編輯:林克倫、楊蘭軒)1141228
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