德國蔡司斥資逾3億元 竹科打造創新中心
(中央社記者張建中新竹12日電)德國蔡司斥資超過新台幣3億元,在新竹科學園區打造創新中心,預計6月18日落成;第1階段引進電子、光學與3D X光顯微鏡的半導體檢測分析方案,結合人工智慧與關聯技術,提升檢測品質、改善生產效率與良率。
蔡司指出,去年旗下光罩方案部門在台灣設立亞洲物流中心及培訓中心,公司進一步在竹科打造創新中心,充分展現對半導體產業的高度重視,以及深耕台灣市場的決心。
蔡司今天發布新聞稿表示,創新中心將引進多款高解析電子顯微鏡與光學顯微鏡,瞄準先進半導體市場前段製造至後段封測的需求,提供客製化解決方案與即時的技術服務。
蔡司指出,旗下ZEISS GeminiSEM系列電子顯微鏡可呈現奈米級別的高解析度成像,透過創新的電子光學系統和載台設計,使操作更加簡便、靈活,並能進行3奈米以下製程的失效分析。
此外,蔡司表示,結合自家軟體的人工智慧(AI)運算功能,在大視野的拍攝情境下,透過局部拍攝訓練人工智慧運算模型,還原畫面細節,可以捕捉微小缺陷,使失效分析更精確。蔡司期待以竹科創新中心推動在台自主研發。(編輯:楊凱翔)1130612
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