（中央社記者曾以寧高雄2日電）高市府地方型SBIR計畫協助新創公司「埃爾思科技」研發10奈米以下客製奈米探針，作為先進半導體製程檢測設備關鍵耗材，獲半導體大廠採購，今年奈米探針訂單逾新台幣300萬元。

高雄市政府經發局今天新聞稿指出，埃爾思董事長兼總經理張維哲擁有成大機械博士學位，曾任職中研院物理所，2019年在高雄成立埃爾思科技（ALES Tech），專精電化學與表面處理技術，投入先進半導體製程測試相關設備研發，2020年獲高雄市「地方產業創新研發推動計畫（地方型SBIR）」補助。

張維哲指出，公司取名埃爾思ALES（Atomic Level Emission Source）指原子尺寸的場發射光源，正是公司核心技術「單原子針尖製造技術」的縮寫，因應半導體市場需求，開發針尖曲率更小的奈米探針用於電性檢測，作為先進半導體製程檢測設備關鍵耗材，掌握商機。

同時與國際大廠合作開發，用於先進半導體晶圓檢測、電路修補與特徵加工，原子等級的氣體場離子源聚焦離子束設備（GFIS-FIB），目前已取得美國專利，第一代設備預計於2024年上市。

張維哲說，感謝高雄市政府經發局補助提升公司研發量能，並透過進駐KO-IN智高點的誠研創新科技投資育成公司，給予投資、合作與技術探勘，爭取科研創業資源，推動技術商業化。今年除取得逾300萬元奈米探針訂單，也將積極與代理商合作布局東南亞及其他海外市場，持續精進核心技術，維持業界領先地位。

經發局長廖泰翔指出，半導體是台灣關鍵產業，為維持台灣半導體領先地位，市長陳其邁上任後配合中央推動南部半導體S廊帶計畫，招募台積電、默克、英特格等大廠落地，也成立S廊帶產學大聯盟，結合產官學界資源，增加產業鏈韌性與彈性，將持續媒合新創與大廠，以大帶小加速產業轉型升級。（編輯：謝雅竹）1111202