（中央社記者趙敏雅台北23日電）陽明交大電子所助理教授曾銘綸率團隊運用半導體中心研發服務平台，證實矽在深紫外光（DUV）照射下展現表面極化子效應，成為開發新一代紫外光譜檢測晶片的理想材料，可提供前瞻奈米材料檢測分析與生醫檢測潛在應用。

國研院今天頒發「研發服務平台亮點成果獎」，陽明交通大學電子研究所助理教授曾銘綸的研究團隊獲得特優，抱走獎金30萬元。

陽明交大團隊研究成果為「半導體超穎介面與矽光子、紫外光電及生醫檢測之應用」，所使用的研發服務平台是台灣半導體研究中心「超穎透鏡結構製程平台」。

曾銘綸表示，矽是現代半導體的核心材料，但在深紫外光（DUV）下展現的奇特性質轉變，至今仍少有人加以應用，因此他與團隊投入研究，試圖揭示其中的潛力。經理論分析與實驗量測，證實矽在深紫外光照射下，會展現出表面極化子效應（surface polariton），大幅增強光與物質之間的交互作用，這樣的現象可廣泛應用於生醫檢測與材料分析。

曾銘綸進一步指出，研究團隊將矽浸泡於生物分子水溶液後發現，在紫外光照射下，矽晶片能使生醫分子的自發螢光增強約3至4倍；在材料科學上，則可使二維材料的雙共振拉曼訊號提升近10倍。更重要的是，矽具備耐酸鹼與耐高溫特性，加上成熟製程技術，能成為開發新一代紫外光譜檢測晶片的理想材料。

曾銘綸團隊也開發深紫外光氮化鋁超穎透鏡，可解析細微結構，並與東京大學合作，使用深紫外超快雷射製造出矽的微奈米結構，證實氮化鋁超穎透鏡在深紫外光電與工業應用的潛力。

國研院指出，本屆研發服務平台亮點成果獎共4支團隊獲優等獎，包含台灣大學土木工程學系特聘教授周中哲團隊、中央研究院應用科學研究中心研究員包淳偉團隊、清華大學奈米工程與微系統研究所清華講座教授李昇憲團隊，以及成功大學物理學系教授張泰榕團隊，分別使用國震中心、國網中心、半導體中心及國網中心服務。（編輯：林淑媛）1140923